简介

Axia ChemiSEM 传承于前 FEI 出品的 Quanta SEM 系列,其易用性、性能和灵活性更上一层楼。

Axia ChemiSEM 配备了一个全新的腔室,可容纳大量样品,且承重量升级到全新高度,并为多探测器预留充足的接口。全新设计的样品台最多可承重 10kg,最大程度上避免了样品切割等制样过程,通过光学导航可直接定位到观察区域,或为自动化拍照提供选区支持。

搭配实 Color SEM 2 技术的 ChemiSEM 可以以 2 倍的效率, 提供实时化学定量级的元素分布成像。全新的操作界面提供多种创新性的功能,全面提升了易用性,如全自动参数校正,操作导引,参数撤销/重做等功能。低真空技术可以为各类不导电样品提 供出色的成像。

 

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规格参数

 

Axia ChemiSEM

高真空模式

3.0 nm @ 30kV (SE)

4.0 nm @ 30 kV (BSE)*

8.0nm @ 3kV (SE)

低真空模式

3.0nm @ 30kV (SE)

电子光学

高性能热发射 SEM 光路系统

探针束流范围

最高 2 μA,连续可调

放大倍数

5 到 1,000,000× (Polaroid)

加速电压

200 V – 30 kV

抽真空速度

< 2 分钟

最大样品尺寸

20 x 165 x 137

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展示

拓展软件

样品杯

案例分析

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